电容位移传感器

6100电容位移传感器 
高精度单通道位移传感器系列
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
**误差：≤±0.1 % FSO
分辨率：< 0.015 % FSO
频率响应：10Hz/2kHz (-3dB)(可切换）
探头适用温度：- 50℃ 至 +150℃ 
温度稳定性：<0.01%FSO/℃ 
6300/6310电容位移传感器 
高精度单通道位移传感器系列
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
**误差：≤±0.1 % FSO
分辨率：< 0.001 % FSO
频率响应：8kHz (-3dB)(可切换）
探头适用温度：- 50℃ 至 +200℃ 
温度稳定性：<0.01%FSO/℃ 
 
6350电容位移传感器 
高精度单通道位移传感器系列
线性量程：0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
**误差：≤±0.3 % FSO
分辨率：可至 0.005 % FSO
频率响应：50 kHz (-3dB)
探头适用温度：- 50℃ 至 +200℃ 
温度稳定性：<0.01%FSO/℃

6500电容位移传感器 
高精度组合式多通道位移测量系统
线性量程：0.05/0.2/0.5/1/2/3/5/10 mm
**误差：≤±0.05 % FSO
分辨率：可至 0.000075 % FSO
频率响应：8.5 kHz (-3dB)
探头适用温度：- 50℃ 至 +200℃
温度稳定性：10ppm/℃(Analog),5ppm/℃(Digital)